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工艺流程

超纯水

超纯水是指通过一些水处理工艺以去除天然水中的杂质后得到的理论纯度接近100%的水。
在半导体原料的生产以及半导体产品制造工艺中，由于杂质的存在会影响产品性能；因此在半导体制造过程中的某些工序后，需要使用超纯水冲洗以去除残留的化学品以及颗粒等杂质。因此在逻辑芯片、内存芯片、图像控制芯片、功率控制芯片等半导体元器件的制造中都离不开超纯水。

随着人工智能设备需求的逐年增长，未来超纯水的需求也将会持续的增长。
上海野村水处理工程有限公司就是在超纯水需求增长的背景下，致力于与终端客户共同实现高效且水质稳定的超纯水的制造的一家专业系统承包商。
 

 

超纯水系统所常使用的设备包括：多介质过滤器（MMF）、活性炭过滤器（ACF）、离子交换树脂装置(IER)、反渗透（RO）、电渗析（EDI）、紫外杀菌/氧化装置（UV/TOC UV）、膜脱气（MDG）、超滤膜（UF）等；通过设计将这些处理单元设备组合起来构建成可以生产合格水质的超纯水生产系统。

近年来，由于半导体产品制造工艺的升级，对超纯水水质的要求也变得越来越严格。而上海野村在日本的总公司-野村微科学株式会社拥有获得国际ISO/ICE 17025认证资质的能够进行高精度痕量分析的专业分析实验室，可以满足当先国际最先进的超纯水的水质分析需求。