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产品介绍-超纯水产品

紫外线装置 (TOC-UV)

概 要

一种利用高能量 185nm 紫外线 (UV) 照射水体,将水中有机物 (TOC) 直接氧化分解成二氧化碳 (CO2) 和水 (H2O),或将其氧化成低分子量、易被后续精处理单元(如 EDI、混床)去除的物质的装置。主要用于超纯水系统中痕量有机物的去除。

 

特 长

高效分解 TOC: 185nm UV 光能直接裂解有机物分子并产生活性自由基(如·OH),实现高效的 TOC 去除。
物理化学过程: 无需或仅需极少化学药剂(如少量过氧化氢),无二次污染风险。
提升水质纯度: 有效降低超纯水中的 TOC 含量,显著提升产水电阻率。
维护相对简便: 核心部件为紫外灯管,维护主要集中在定期更换灯管。
连续在线处理: 可集成于超纯水循环系统中,实现 TOC 的持续控制。

 

用 途

主要用于超纯水循环系统 中 总有机碳 (TOC) 的在线去除与精确控制,确保最终产水达到极高标准要求,尤其关键应用于:
半导体制造业: 芯片清洗、晶圆制造工艺用水。
制药行业: 注射用水 (WFI) 系统。
高端显示面板行业: TFT-LCD, OLED 等工艺用水。
精密分析实验室: 分析用超纯水。